微桥法测试薄膜机械特性的力学模型验证

摘要：

在ANSYS的基础上对Zhang等提出的一种基于基底变形的测量微机械薄膜杨氏模量和残余应力的微桥实验进行模拟仿真,改变ANSYS中加载的载荷大小得到一系列载荷-挠度数据点,并通过这些数据点利用相关力学模型,提出了迭代回归和最小二乘法等数值方法来计算薄膜杨氏模量和残余应力;并与ANSYS预设值进行比较,来验证该微桥法力学模型及所利用数值方法的准确性.结果证明:计算得到的薄膜杨氏模量及残余应力与ANSYS预设值之间只有10％至20％的误差,说明利用该实验方法和力学模型测试得到的微机械薄膜杨氏模量及残余应力是比较精确的.

关键词：微桥法、薄膜、杨氏模量、残余应力、数值方法

所属期刊栏目：41

分类号：O484.5(固体物理学)

资助基金：浙江省自然科学基金资助项目Y1100707

在线出版日期：2014-02-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：660-664,676