10.3969/j.issn.1006-4303.2001.01.013
平面集成微透镜阵列的研制
介绍了集成微透镜阵列光学器件,建立了开孔式离子扩散的数学模型,并对求解结果进行了分析和讨论。设计了离子交换型平面集成微透镜阵列的工艺流程及具体工艺参数,并研制成功该器件且给出其光学特性参数。
微透镜阵列、集成光学、离子交换
29
TH74;TN24(仪器、仪表)
浙江省自然科学基金 699002
2004-01-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
51-55
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10.3969/j.issn.1006-4303.2001.01.013
微透镜阵列、集成光学、离子交换
29
TH74;TN24(仪器、仪表)
浙江省自然科学基金 699002
2004-01-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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