10.3969/j.issn.1006-4303.2001.01.006
晶体的超精密平面抛光
修正环型抛光机用于超精密平面抛光,并对沥青抛光进行了运动学分析。基于得到的方程式,发现在相同条件下,计算出的抛光量和平面度与60mm直径的玻璃圆板工件的实验值非常一致。提出了用于改善抛光平行度的偏心分布载荷技术。获得了1Å~2Å表面粗糙度及小于20″平行度的晶体基片。
晶体、平面抛光、运动学分析、偏心载荷
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TH16
国家自然科学基金59105037;浙江省自然科学基金598095,299009
2004-01-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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