基于飞秒激光的表面微纳加工技术综述与展望

摘要：

飞秒激光脉冲宽度超短、峰值功率超强，在表面微纳加工领域得到了广泛的关注和应用。简述了飞秒激光诞生至今的应用概况，然后依据不同的加工对象（金属、透明材料、聚合物）阐述了飞秒激光与其相互作用的机理，从激光烧蚀、双光子聚合加工、飞秒激光微纳加工系统3方面对飞秒激光表面微纳加工技术进行了综述，最后探讨了待解决问题并进行了展望。

关键词：飞秒激光、表面微纳加工、激光烧蚀、双光子聚合

所属期刊栏目：30

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家“973”计划项目2011CB013403

在线出版日期：2016-07-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：83-89