离子镀TiN涂层工艺参数优化及工作距离对表面质量的影响

摘要：

采用多弧离子镀(multi-arc deposition)沉积TiN涂层,分析工艺参数对涂层表面质量的影响.首先以硬度为考核指标,设计了Ti弧流、N2流量、Ar流量、烘烤温度和偏压的5因素、4水平L16(45)正交试验,优化工艺参数.然后分析了优化工艺参数条件下,工件到靶材的距离(工作距离)对涂层表面质量的影响.采用SEM分析了表面形貌,通过截面形貌确定了涂层厚度;采用Nano-indentation测定了涂层硬度.结果发现:5个因素对涂层硬度的影响程度不同,影响硬度的因素主次顺序为Ti弧流-Ar流量-偏压-烘烤温度-N2流量;试验条件下,5因素的最优水平依次为70 A,10 sccm,40 V,350 ℃,44 sccm;存在最佳工作距离(约30 cm),使涂层表面质量最佳.

关键词：多弧离子镀、TiN涂层、表面质量

所属期刊栏目：22

分类号：TG115(金属学与热处理)

在线出版日期：2008-06-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：83-87