多弧离子镀CrN薄膜的制备与表征

摘要：

应用多弧离子镀膜技术在65Mn钢基体上制备CrN薄膜,通过Nanohardness-tester、SEM、EDX和XRD测试分析了薄膜的硬度、厚度、成分结构和表面形貌.得到薄膜的最高硬度为24 GPa,最大厚度为2.06 μm.通过正交实验分析得到各因素对薄膜硬度影响程度的主次顺序是:偏压、氮气、氩气、弧流,对薄膜厚度影响程度的主次顺序是:弧流、氮气、偏压、氩气.

关键词：多弧离子镀、CrN薄膜、纳米硬度、正交实验

所属期刊栏目：21

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

资助基金：国防重点实验室基金9140C8502070703

在线出版日期：2007-11-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：78-81