10.3969/j.issn.1672-1497.2007.03.019
多弧离子镀CrN薄膜的制备与表征
应用多弧离子镀膜技术在65Mn钢基体上制备CrN薄膜,通过Nanohardness-tester、SEM、EDX和XRD测试分析了薄膜的硬度、厚度、成分结构和表面形貌.得到薄膜的最高硬度为24 GPa,最大厚度为2.06 μm.通过正交实验分析得到各因素对薄膜硬度影响程度的主次顺序是:偏压、氮气、氩气、弧流,对薄膜厚度影响程度的主次顺序是:弧流、氮气、偏压、氩气.
多弧离子镀、CrN薄膜、纳米硬度、正交实验
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TG174.444(金属学与热处理)
国防重点实验室基金9140C8502070703
2007-11-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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