10.3969/j.issn.1008-9500.2017.09.044
硅材料杂质元素检测技术比较
硅材料中杂质直接影响太阳能组件的光电转换效率和寿命,随着光伏产业的快速发展,人们越来越需要一种检测限低、能快速检测多种元素的分析方法.本文比较分析了常见硅材料杂质元素检测技术的测试原理和优缺点,如电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)、辉光放电质谱(GDMS)、二次离子质谱(SIMS)、傅立叶红外光谱仪(FTIR)和低温傅立叶红外光谱(LT-FTIR)等,寻求适合太阳能级硅材料的快捷而准确的检测设备和方法.
硅材料、检测、杂质元素
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TN304.12(半导体技术)
2017-12-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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