ITO废靶回收再生技术

摘要：

用磁控溅射法制备ITO膜所留下的ITO废靶料是一种经高压高温成型的铟、锡氧化物陶瓷烧结体,它耐腐蚀耐高温,但富含稀有金属铟,其回收再生技术特别是其中的铟、锡分离复杂,本文介绍几种回收方法并加以评述.

关键词：ITO废靶、铟、回收

分类号：TN304.057(半导体技术)

在线出版日期：2005-05-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：14-16