深紫外LED的外延技术进展

摘要：

深紫外LED(UVC LED)是新型紫外线光源,可应用于病毒消杀、工业、通信等领域.近年来,AlGaN基UVC LED的外延技术取得了显著的发展,器件性能不断提升,展现出了良好的应用前景.本文综述了 UVC LED外延技术的研究进展,主要介绍衬底、外延工艺与外延结构对UVC LED光电性能的影响.

关键词：深紫外、LED、AlGaN、外延、量子阱

分类号：TN312.8(半导体技术)

资助基金：福建省技术创新重点攻关;产业化项目

在线出版日期：2023-03-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

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