XeCl与XeBr准分子紫外光源的最新进展

摘要：

介绍了基于介质阻挡放电的准分子紫外辐射光源的特性,以及准分子紫外光源的优点;分析了国内外有关XeC1与XeBr准分子紫外光源的最新研究进展,总结了XeCl与XeBr准分子紫外光源辐射特性的研究方法,了解了气压、气体的组成、温度以及电源的频率和电压对辐射功率和辐射效率的影响,为优化XeCl与XeBr准分子紫外灯奠定了基础.

关键词：介质阻挡放电、准分子紫外光源、XeCl、XeBr、辐射效率

分类号：TN23(光电子技术、激光技术)

资助基金：上海张江国家自主创新示范区国际技术转移转化运营试验区项目ZJ2014-ZD-011

在线出版日期：2016-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

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