多晶硅生产的硅芯夹层研究

摘要：

在改良西门子法生长原生多晶硅棒的生产工艺中,硅棒产品会出现硅芯夹层现象,影响多晶硅硅棒的生长和产品品质,导致产品不达标或者影响下游厂家使用.通过对实验炉次的数据收集和处理,分析多晶硅棒硅芯夹层产生的原因,并制定相应的改良措施.

关键词：改良西门子法、原生多晶硅、硅棒、硅芯夹层、改良措施

在线出版日期：2019-04-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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