冷轧过程中NiPt5合金的结构演变及磁性能

摘要：

NiPt合金溅射靶材是半导体工业制备NiPtSi接触层的重要原材料.本文对NiPt5合金在冷轧过程中的结构演变及磁性能进行研究.结果表明:NiPt5合金在冷轧过程中微观结构的演变经历位错缠结、位错壁、含小角晶界的拉长亚晶粒、新晶界形成4个阶段.晶粒细化主要是位错的聚集、湮灭和重排所导致.NiPt5的矫顽力随着轧制变形量的增加而增加,这归因于冷轧诱导的缺陷及内应力对畴壁移动的阻碍.剩磁与NiPt5合金择优取向密切相关,(200)织构导致剩磁升高.Ni合金较高的磁各向异性使<200>取向的织构对提高靶材质量十分有利.

关键词：溅射靶材、NiPt合金、冷轧、位错、磁性能

所属期刊栏目：30

分类号：TG335(金属压力加工)

资助基金：国家重点研发计划项目;云南省国际合作计划项目;云南省应用基础研究面上项目;云南省基金青年项目;云南省创新团队项目

在线出版日期：2020-05-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：559-565