Au掺杂浓度对WO3微米球 NO2气敏特性的影响

摘要：

采用水热法制备不同Au掺杂浓度的分级多孔WO3微米球,探讨其作为气敏材料对NO2气体的气敏特性.利用XRD、SEM、EDS和XPS对制备的WO3微米球的晶体结构、微观形貌以及元素组成进行结构分析.结果表明:Au掺杂浓度对WO3微米球的结构和形貌没有明显影响,所获WO3微米球的直径均为3～5μm,主要由直径为70～90 nm的六方相晶体结构的WO3纳米棒组成.在相同的检测条件下,Au掺杂浓度为2％(摩尔分数)时,WO3微米球可获得对NO2气体的最佳气敏反应特性,且在工作温度50℃时获得最大气体灵敏度,这主要是由于该Au掺杂浓度条件下获得的WO3微米球具有最小活化能的缘故.通过电子耗尽层理论和贵金属掺杂的化学效应对Au掺杂WO3微米球的气敏机理进行分析和探讨.

关键词：Au掺杂、WO3微米球、二氧化氮、气体传感器、气敏特性

所属期刊栏目：29

分类号：TN304.92(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51422402,51674067;中央高校基本科研业务费专项资金资助项目N150101001,N160106004

在线出版日期：2019-06-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：81-90