低孔隙率阳极氧化铝膜的制备及其高绝缘特性

摘要：

采用恒流阳极氧化法,制备出低孔隙率高绝缘特性的阳极氧化铝膜(AAO 膜),研究乙二醇(EG)对 AAO膜显微结构及其绝缘性能的影响.采用 X 射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)及绝缘性能测试仪对 AAO 膜的物相组成、显微形貌及其绝缘性能进行测试表征.结果表明,当EG体积分数为40%时,可获得孔隙率为1.0%的AAO膜,此时AAO膜绝缘电阻率达到最高值5.4×1013Ω?cm;当EG体积分数为50%时,AAO膜的击穿场强达到最优值44.8 V/μm.草酸电解液中添加有机物EG可极大地降低AAO膜多孔层孔隙率,提高阻挡层厚度,大幅度提升AAO膜的绝缘性能.

关键词：阳极氧化铝、有机物、低孔隙率、绝缘性能

所属期刊栏目：28

分类号：TB34(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51675169 Project51675169supported by the National Natural Science Foundation of China

在线出版日期：2018-08-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：964-970