阳极氧化Ti3SiC2制备纳米孔阵列

摘要：

以NH4F和乙二醇为电解液，采用阳极氧化法在Ti3SiC2表面制备纳米多孔结构，研究阳极氧化电压、电解液浓度和氧化时间对纳米多孔结构形成的影响。利用场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)、X射线衍射仪(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)对纳米多孔结构进行表征。结果表明：孔径随着氧化电压的升高而增大，且延长氧化时间有利于制备孔径均匀的纳米孔；Ti3SiC2试样经阳极氧化后除含有Ti、Si、C元素外，还含有O元素，且以TiO2的形态存在。

关键词：Ti3SiC2、阳极氧化、纳米孔、电解液、氧化电压

所属期刊栏目：26

分类号：O646(物理化学（理论化学）、化学物理学)

在线出版日期：2017-02-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：2589-2595