新型Hg3In2Te6芯片引线的键合机制

摘要：

Hg3In2Te6(MIT)晶体是一种新型的短波红外光电探测材料，采用热压超声球焊的方法实现MIT红外探测器与外电路的引线连接，探讨MIT复合电极厚度及结构对键合率的影响规律，研究超声功率和键合压力对第一焊点的外观形貌和键合强度的影响机理。结果表明：在化学抛光后的MIT晶片表面蒸镀0.2μm In、1.0μm Au制备In/Au复合电极时，键合率显著提高，达到100%；MIT与In/Au复合电极间存在一定的互扩散，促进了键合过程的形成；超声功率与键合压力对焊点形貌和键合强度影响最大，当超声功率为0.45~0.55 W、键合压力为0.5~0.6 N时，焊球与引线的直径比约为3.5，焊点变形适中，有效键合面积较大，90%以上的断裂发生在引线位置，表明此种工艺参数下形成的键合强度高、可靠性好。

关键词：Hg3In2Te6芯片、热压超声键合、Au 电极、In中间层

分类号：TM23;TN36(电工材料)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51172185；陕西省重点领域科技创新团队项目2014KCT-12；西北工业大学博士点创新基金资助项目20116102110013

在线出版日期：2015-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1005-1011