大面积纳米金刚石薄膜的制备及场发射性能

摘要：

以CH4和H2为反应气，采用微波等离子体增强化学气相沉积方法在直径为10 cm的硅原片上制备纳米金刚石薄膜。用X射线衍射仪、拉曼光谱、扫描电镜和原子力显微镜对薄膜的组成结构及性能进行表征。结果表明：薄膜的平均晶粒尺寸约为13.8 nm，厚度可达10.8μm，表面粗糙度约为11.8 nm；其拉曼光谱是典型的纳米金刚石薄膜的特征峰峰形，同时在高真空条件下对所制备的薄膜样品进行场发射性能测试。

关键词：纳米金刚石薄膜、拉曼图谱、表面粗糙度、场发射性能

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：北京工业大学先进技术基金和国家重大专项

在线出版日期：2014-12-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2844-2848