粉浆浇注制备大尺寸ITO靶材工艺

摘要：

研究分散剂、pH值和固相含量对铟锡氧化物(ITO)浆料稳定性、流变性的影响，以及粉浆浇注压力对坯体密度的影响。结果表明：当聚丙烯酸(PAA)质量分数为0.5%、聚乙二醇(PEG)质量分数为1.5%、pH值为9、ITO固相含量为70%(质量分数)时，调制的浆料的流变性和稳定性最佳，并在注浆压力为1.5 MPa的条件下制备出相对密度为68%的高密度粉浆浇注坯体；对该素坯进行常压烧结制备了相对密度高于99.5%的ITO靶材。对靶材的组织与成分分析发现，粉浆浇注ITO靶材的结构为氧化锡完全固溶于氧化铟的单一立方In2O3结构，同时In、Sn和O元素分布均匀，无元素富集现象，晶粒尺寸均匀，完全满足八代以上镀膜线的应用技术要求。

关键词：ITO靶材、粉浆浇注、浆料性能、微观组织

分类号：TB34(工程材料学)

资助基金：宁夏回族自治区自然科学基金资助项目NZ12290；宁夏回族自治区人事和社会保障厅留学人员创新项目2012-2013

在线出版日期：2014-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：2333-2338