锌还原法制备多晶硅的热力学

摘要：

对锌还原法过程进行了热力学分析，研究硅的产率与压强、温度以及物料配比的关系，并给出硅的产率随着压强、温度和物料配比的变化图，确定该生产过程中主要副反应。最后确定锌还原法的最佳操作条件为温度控制在1200 K左右、常压、物料配比n(Zn)/n(SiCl4)=3。在此条件下，硅的理论产率为86.6%。

关键词：多晶硅、太阳能电池、锌还原、热力学

分类号：O642.4(物理化学（理论化学）、化学物理学)

资助基金：国家自然科学基金资助项目50574045

在线出版日期：2014-03-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：547-551