烧结气氛和温度对In2O3和SnO2及其混合粉烧结行为的影响

摘要：

采用XRD、SEM和XRF等表征方法研究In2O3、SnO2及其混合粉(In2O3与SnO2质量比为9：1)在N2、空气及O2气氛下于1300~1600℃烧结过程中的粉末分解质量损失、反应固溶、新相生成及孔洞形成等行为，以期为高密度铟锡氧化物(ITO)靶材制备奠定基础。结果表明：在1300~1600℃高温烧结中，In2O3和SnO2均分解升华， SnO2较In2O3更易于分解，增大烧结气氛的氧分压，有利于抑制分解反应的发生；在O2气氛下，ITO粉在1500℃开始显著分解产生质量损失；ITO粉在N2、空气和O2气氛中于1300℃下烧结4 h，样品中均存在SnO2相；于1400℃下烧结4 h，SnO2相消失，In4Sn3O12相出现；随着烧结温度的进一步升高，In4Sn3O12分解消失，其分解温度随烧结气氛氧分压增大而提高；在O2气氛下烧结，所得ITO粉晶格常数最低，且较为稳定，颗粒收缩较均匀，有利于高密度ITO靶材制备。

关键词：In2O3、SnO2、烧结行为

分类号：TF12(冶金技术)

资助基金：教育部新世纪优秀人才资助计划NCET-11-0517；中国博士后科学基金面上项目2012M521544

在线出版日期：2014-02-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：221-228