草莓状PS/SiO 2复合磨料的可控合成及其抛光性能
以经过聚乙烯吡咯烷酮(PVP)进行表面修饰的聚苯乙烯(PS)微球为内核，在碱性条件下采用溶胶?凝胶法在PS微球直接包覆SiO 2，制备有机/无机PS/SiO 2复合微球，通过控制反应体系中正硅酸乙酯(TOES)的浓度来控制复合微球中氧化硅的质量分数，并借助原子力显微镜(AFM)考察了PS/SiO 2复合磨料对硅热氧化片的抛光特性，初步分析有机/无机复合磨料的非刚性力学特性对抛光质量的影响。透射电镜(TEM)结果显示：复合微球具有草莓状核壳包覆结构，其氧化硅壳层是由SiO 2纳米颗粒所组成；热失重分析(TGA)表明：样品中氧化硅含量为12%~69%(质量分数)。AFM测试结果表明：复合磨料中氧化硅的含量对抛光后晶片的微观形貌、粗糙度及表面轮廓具有明显的影响。
核壳结构、复合微球、磨料、聚苯乙烯、氧化硅
TB383(工程材料学)
国家自然科学基金资助项目51205032；江苏省自然科学基金资助项目BK2012158；江苏省材料摩擦学重点实验室开放基金资助项目Kjsmcx2011001
2013-10-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共8页
2962-2969
