镍的摩擦辅助喷射电沉积过程及沉积效率

摘要：

分别使用传统喷射电沉积和摩擦辅助喷射电沉积技术制备一组不同沉积时间的镍沉积层，并采用非接触式表面三维形貌仪对其表面形貌进行观察，采用XRD分析沉积层的晶粒大小和织构随沉积时间的变化，用TEM观察沉积层组织机构的不同，通过沉积层的厚度分析对两种方法的沉积效率和稳定性进行比较。结果表明：传统喷射电沉积镍层随着沉积时间的增加表面逐渐变得粗糙，沉积时间由20 min增加至120 min时，粗糙度Ra值由212 nm增加至282 nm，而摩擦辅助喷射电沉积镍层可以始终保持光亮平整，Ra值由最初的228 nm逐渐减小，并最终稳定在171 nm左右；摩擦辅助装置的加入对喷射电沉积效率影响很小，但使沉积的均匀性和稳定性得以提高；同时，该装置细化晶粒，使平均晶粒大小由15.6 nm减少至10.9 nm。

关键词：镍、喷射电沉积、摩擦、微观结构、沉积效率

分类号：TG662;TQ153

资助基金：国家自然科学基金青年基金资助项目51105204；教育部博士点基金资助项目20113218120022；南京航空航天大学青年科技创新基金资助项目NS2011009

在线出版日期：2013-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1618-1625