电磁感应辅助等离子体熔炼去除金属硅中的硼

摘要：

采用自主设计的转移弧等离子体发生装置,对金属硅进行电磁感应加热辅助等离子体熔炼除硼的研究；探索不同工艺条件如反应气体、熔炼时间和初始硼含量对除硼效果和硅损失的影响.结果表明:采用氩气和水蒸气混合气体(Ar+H2O)作为反应气体比氩气和氧气混合气体(Ar+O2)具有更好的除硼效果；随H2O含量的增加,硼的去除率与硅损失率都呈线性增加；采用Ar+1.5％H2O(体积分数)等离子体时,硼的去除率在30 min后达到最大值,其含量从22×10-6降至0.2×10-6(质量分数),硅损失率约为0.5％/min;初始硼含量对除硼效果和硅损失率基本无影响.

关键词：太阳能级多晶硅、电磁感应、等离子体熔炼、除硼

所属期刊栏目：22

分类号：TF111(冶金技术)

资助基金：国家"十二五"科技支撑计划资助项目2011BAE03B01;NSFC-云南联合基金重点项目U1137601;NSFC-云南联合基金资助项目U137601

在线出版日期：2013-06-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：3529-3534