炭/炭复合材料 ZrC 涂层的制备及显微组织结构
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炭/炭复合材料 ZrC 涂层的制备及显微组织结构

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通过冷态输送 ZrCl4粉末,利用低压化学气相沉积法在 C/C 复合材料表面制备 ZrC 涂层.采用 X 射线衍射和扫描电镜研究沉积温度和沉积位置对 ZrC 涂层物相成分和微观形貌的影响.结果表明:在1400~1600℃时,沉积涂层物相均为单一的 ZrC.ZrC 晶粒择优取向随沉积温度的升高而发生变化;在1400和1500℃时,ZrC 晶粒择优取向面为(200);1600℃时,晶粒择优取向面转变为(220)和(200),且择优不明显;随着沉积温度的进一步升高,涂层晶粒尺寸明显增大,涂层表面 ZrC 颗粒由球形逐渐转变为金字塔形多面体.在1400~1600℃沉积时,反应器的?100~?230mm 沉积区间内可以得到成分单一、择优取向一致、表面形貌相同的 ZrC 涂层.

ZrC 涂层、低压化学气相沉积、相组成、显微组织、均匀性

TB332(工程材料学)

2013-01-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共7页

3081-3087

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