氧化锌铝的典型性能与研究进展

摘要：

氧化锌铝是一种具有广阔应用前景和发展潜力的复合氧化物半导体材料.介绍ZAO材料的透明导电性、光致发光和红外发射等典型性能；讨论溶胶-凝胶法、水热法、沸水回流法和共沉淀法等粉体制备方法；阐述ZAO 靶材的制备方法；分析溶胶-凝胶、金属化学气相沉积、磁控溅射、脉冲激光沉积和热喷雾分解等ZAO薄膜的制备技术；最后指出ZAO的发展方向.

关键词：氧化锌铝、典型性能、制备技术、粉体、靶材、薄膜

所属期刊栏目：22

分类号：TU214(建筑设计)

在线出版日期：2012-06-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：416-426