热丝辐射距离和W-C梯度过渡层对高速钢基体气相生长的影响

摘要：

使用反应磁控溅射技术在W 18Cr4V高速钢基体表面制备W-C梯度过渡层(WCGC),采用热丝化学沉积法(HFCVD),以甲烷和氢气为反应气体,在基体表面生长金刚石膜.采用场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)、X射线衍射仪(XRD)和激光拉曼光谱(Raman)对W-C过渡层和金刚石膜进行检测分析,研究热丝辐射距离和沉积气压对WCGC与金刚石膜的的影响.结果表明:热丝辐射距离对金刚石薄膜和WCGC均有较大影响；WCGC过渡层能够在一定热丝辐射范围内降低Fe在金刚石膜沉积过程的负面影响,有效提高金刚石的形核率,在基体表面得到连续致密的金刚石膜.

关键词：金刚石膜、高速钢、化学气相沉积、过渡层、热丝辐射距离

所属期刊栏目：21

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：湖南省研究生创新基金资助项目1343-74236000005;粉末冶金国家重点实验室开放基金资助项目2008112048;中南大学优秀博士论文扶持基金资助项目2008yb015;中南大学贵重仪器开放共享基金资助项目ZKJ2008001

在线出版日期：2012-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共13页

页码：2825-2837