溅射沉积铝合金基CrTiAlN涂层的结构、力学以及摩擦学特性

摘要：

采用反应非平衡磁控溅射技术制备出一系列LY12铝合金基CrTiAlN多层涂层,并通过X射线衍射仪、纳米压痕仪以及多功能摩擦磨损测试仪来研究CrTiAlN涂层的结构、力学以及摩擦学特性.结果表明:CrTiAlN涂层为以TiN0.9和CrN为主要组织取向的FCC结构,N2水平和衬底负偏压对涂层的力学特性和粘附强度有显著的影响.经过优化参数,在衬底偏压-55V和中N2水平条件下,CrTiAlN涂层的结合强度为10N,显微硬度达到29.87 GPa.

关键词：CrTiAlN涂层、力学性能、结构特性、摩擦因数

所属期刊栏目：21

分类号：TG174.44(金属学与热处理)

资助基金：重庆市自然科学基金资助项目CSTC,2010BB4290

在线出版日期：2012-03-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：2099-2104