化学气相沉积硬质合金TiN/TiCN/Al2O3/TiN层涂层的抗氧化性能

摘要：

对化学气相沉积(CVD)法制备的硬质合金TiN/TiCN/Al2O/TiN多层涂层试样在600～950℃温度范围内进行了氧化质量增加试验,采用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分析试样氧化前后相组成及微观组织.结果表明:复合涂层最外层为α-Al2O3时,涂层具有最佳的抗氧化能力；增加TiN/TiCN/x-Al2O3/TiN复合涂层中TiCN和κ-Al2O3的厚度能大大提高涂层高温抗氧化性.TiN和TiCN涂层经600℃以上氧化后,产物均为金红石结构的TiO2,氧化后TiN/TiCN间的界面消失;经900℃以上氧化时,κ-Al2O3转变为α-Al2O3.

关键词：硬质合金、化学气相沉积多层涂层、抗氧化性

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分类号：TG135.5;TG115.5(金属学与热处理)

资助基金：科技重大专项资助项目2009ZX04012-021

在线出版日期：2012-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1967-1973