W18Cr4V高速钢渗铬热处理对HFCVD金刚石膜生长的影响

摘要：

采用热丝化学沉积法在高速钢基体上沉积金刚石薄膜.为了减少石墨的形成、增强膜基结合强度,沉积前先使用渗铬热处理在高速钢表面制备一层碳化铬中间层.采用场发射扫描电子显微镜、X射线衍射仪、激光拉曼光谱和洛氏硬度计对渗铬基体和金刚石膜进行检测分析,研究渗铬热处理对高速钢基体与金刚石膜的物相组织、结构形貌和附着性能的影响.结果表明:渗铬热处理能在钢基表面形成一层致密的富Cr层,此过渡层能有效提高金刚石的形核率,在渗铬钢基表面形成连续致密的高质量金刚石膜,但该金刚石膜的应力较大,1 471N载荷的压痕测试导致薄膜严重破坏,说明膜基结合强度有待进一步提高.

关键词：金刚石膜、高速钢、化学气相沉积、渗铬热处理、附着性能

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：粉末冶金国家重点实验室开放基金资助项目2008112048;湖南省研究生创新基金资助项目1343-74236000005;中南大学优秀博士论文扶持基金资助项目2008yb015;中南大学贵重仪器开放共享基金资助项目ZKJ2008001

在线出版日期：2011-11-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：1623-1631