AlN陶瓷表面状态对Ti/Ni金属化薄膜粘结性能的影响

摘要：

采用电子束蒸发技术在AlN衬底上蒸镀Ti/Ni双层金属化薄膜,通过SEM、EDS和AES等方法分析抛光AlN表面状态及与金属化薄膜间的相互作用.结果表明:离子束清洗可去除AlN衬底表面疏松层,改变AlN衬底表面状态,提高衬底表面能.结合热蒸发原子的作用,膜基界面处Al、N和Ti元素之间产生相互扩散现象,AlN陶瓷和Ti膜的附着机制由未清洗前的简单附着改变为扩散附着,极大提高了金属化薄膜粘结性能,其拉脱强度达300 MPa以上,且无需后续退火处理.

关键词：氮化铝、表面状态、金属化、粘结性能、离子束

所属期刊栏目：21

分类号：TB43;TN305(工业通用技术与设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目50501008

在线出版日期：2011-04-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：152-158