Sm-Fe系薄膜悬臂板磁致伸缩行为的有限元模拟分析

摘要：

以离子束溅射沉积(IBSD)法制备的Sm-Fe系超磁致伸缩薄膜悬臂板为研究对象,通过ANSYS有限元分析法,对超磁致伸缩薄膜/盖玻片衬底悬臂板自由端挠度值的大小进行模拟计算,并模拟Sm-Fe薄膜、Sm-Fe/Fe复合膜的内部磁化状态.结果表明:在薄膜与衬底厚度比较小的情况下,悬臂板端点挠度值随薄膜厚度的增加而线性增加,且与衬底厚度近似成二次抛物线关系,有限元分析结果与实测情况吻合较好;Sm-Fe单层膜内部磁力线分布较均匀;在Sm-Fe/Fe复合膜中,由于Fe膜的负磁场效应,使Sm-Fe膜内的磁力线分布出现不均匀的现象,且磁感应强度比Sm-Fe单层膜小.

关键词：Sm-Fe薄膜、离子束溅射、有限元、磁致伸缩

所属期刊栏目：19

分类号：TM27;TB43(电工材料)

资助基金：福建省科技厅资助高校项目2007F5065:福建省科技厅高新技术与火炬计划资助项目99.H.44:福州大学开放测试基金资助项目07-08

在线出版日期：2010-01-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1880-1885