TiAlCrN和TiAlCrN/CrN复合膜的微观组织与力学性能

摘要：

利用离子氮化形成过渡层,通过改变溅射沉积工艺参数,制备了TiAlCrN和TiAlCrN/CrN多层复合膜.采用电子探针(EPMA)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、纳米压痕仪及微米划痕仪等技术表征两种复合膜的成分结构和力学性能.结果表明:两种膜都是面心立方结构,TiAlCrN膜和TiAlCrN/CrN多层膜分别在(111)和(200)面具有一定的择优取向;TiAlCrN膜的结构和成分都比较均匀,而TiAlCrN/CrN多层膜的结构和成分则呈周期性变化.由于离子渗氮层的支撑作用及氮化物外延生长,TiAlCrN/CrN多层膜的显微硬度(3 450 HV)高于TiAlCrN膜的(2 500 HV);两种膜都具有较高的膜基结合力,但TiAlCrN/CrN多层膜的综合力学性能比TiAlCrN膜的更好.

关键词：TiAlCrN膜、TiAlCrN/CrN多层膜、电弧镀、硬度、结合性能

所属期刊栏目：19

分类号：TB43;TG115.21(工业通用技术与设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目U0734001,50874050;广东省科技计划资助项目2006A11002001,2007B010600007,2007B010600043;广州市科技计划资助项目2006Z2-D0121,2006Z2-D0131,2006Z3-D0281

在线出版日期：2009-11-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1608-1612