铝掺杂对ZnO:Al薄膜结晶性能与微观组织的影响

摘要：

以二水合醋酸锌为原材料,采用溶胶-凝胶浸涂法在钠钙玻璃基片上制备了具有c轴择优取向的ZnO:Al薄膜,考察了铝掺杂浓度对薄膜结晶性与微观组织结构的影响.结果表明:铝掺杂使ZnO薄膜(002)晶面的2θ向高角度方向偏移,c轴择优取向性增强,晶粒变小(15～20 nm).当铝掺杂浓度(摩尔分数)为1%～2%时,微观组织结构变得致密均匀;当铝掺杂浓度大于2%时,发生颗粒团聚现象;在高掺杂浓度下(5%和8%),出现大尺寸片状ZnO:Al晶粒异常长大,生长出特殊形貌的薄膜.

关键词：ZnO:Al薄膜、铝掺杂、溶胶-凝胶法、择优取向生长

所属期刊栏目：19

分类号：TB34(工程材料学)

在线出版日期：2009-08-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1284-1288