CrTiAlCN多元多层梯度膜的制备及其结构

摘要：

采用中频反应磁控溅射、离子束辅助方法沉积CrTiAlCN多元硬质薄膜,利用扫描电镜、俄歇电子谱、透射电镜及X射线衍射等技术对膜层的过渡层、界面及微观结构进行研究.结果表明:沉积制备的膜层为多层梯度过渡结构,成分深度分布及相结构分析证实,所制备的多元多层梯度膜与所设计的基体/Cr/CrN/CrTiAlN/ CrTiAlCN结构相吻合;在梯度过渡中,不同层之间界面体现为渐变过渡过程;沉积制备的多元多层梯度膜硬度高达26.31 GPa,膜/基结合力大于80 N,摩擦因数低至0.113,力学性能优良.

关键词：CrTiAlCN薄膜、磁控溅射、离子束辅助

所属期刊栏目：19

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：广东省技术创新基金资助项目200503027

在线出版日期：2009-04-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：259-264