10.3321/j.issn:1004-0609.2008.z1.071
太阳能级多晶硅生产技术发展现状及展望
全面介绍了太阳能级多晶硅的生产技术现状及有代表性的新工艺、新技术的研究动态.太阳能级多晶硅生产技术主要包括西门子法、硅烷法和冶金法.冶金法因工艺简单、投资少、能耗低获得广泛的关注,但目前其产品达不到太阳能级硅的质量要求.展望未来,西门子法仍将是生产高纯度多晶硅的主流技术.
太阳能级多晶硅、西门子法、硅烷、硅
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O613.72(无机化学)
广东省教育部产学研结合专项资金资助项目2006D90404001
2008-08-27(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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386-392