化学脱钴对硬质合金沉积金刚石薄膜的影响

摘要：

采用HFCVD系统,以CH4和H2为反应气体,分别在YG3、YG6、YG10、YG13硬质合金上沉积了金刚石薄膜,研究了化学脱钴处理对不同钴含量硬质合金沉积金刚石薄膜的影响.通过对105个样品的实验结果进行统计分析发现,YG3所得金刚石薄膜样品具有足够结合强度的比例为89%;而YG6、YG10 和YG13所得样品的相应值分别为24%、7%和0%.相反,YG3、YG6、YG10 和YG13所得金刚石薄膜严重破坏的比例分别为0%、64%、72%和79%.研究表明,化学腐蚀脱钴处理能够解决金刚石涂层形核率低的问题,但难以解决高钴硬质合金的附着性差的问题.

关键词：金刚石薄膜、硬质合金、预处理、附着力

所属期刊栏目：18

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

在线出版日期：2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共12页

页码：1070-1081