AlN陶瓷基板材料的典型性能及其制备技术

摘要：

AlN陶瓷是一种新型的基板材料,具有优异的电性能和热性能,被誉为新一代高密度封装的理想基板材料.介绍AlN陶瓷的典型性能和导热机理;讨论AlN粉末的5种合成方法:铝粉直接氮化法、Al2O3碳热还原法、化学气相沉积法、溶胶-凝胶法、自蔓延高温合成法和等离子化学合成法;分析AlN烧结助剂的选择和5种烧结工艺:热压烧结、无压烧结、放电等离子烧结、微波烧结及自蔓延烧结;阐述AlN基板的制备工艺及其影响因素.

关键词：AlN、导热机理、合成、烧结、烧结助剂、基板

所属期刊栏目：17

分类号：TQ174

在线出版日期：2008-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：1729-1738