碱性溶液环境中CrSi(Ni,Al)电阻薄膜的电学稳定性及劣化机理

摘要：

研究磁控溅射法制备的Cr-Si-Ni和Cr-Si-Ni-Al电阻薄膜在模拟的碱性环境(NaOH溶液)中,介质溶液浓度和温度对薄膜电学稳定性的影响及其机理.结果表明:经热处理后呈纳米晶结构的2种薄膜在低温低浓度的碱性溶液中具有较好的电学稳定性和耐腐蚀性能,但是,随着溶液浓度和温度的增大其电学稳定性和耐腐蚀性能急剧下降,特别是在高温高浓度的碱性溶液中薄膜在很短时间内就出现性能劣化现象;2种薄膜在低温低浓度的碱性溶液中能够迅速地在膜层表面形成稳定的钝化保护层,从而有效地抑制溶液离子对薄膜内层的进一步腐蚀;而在高温或高浓度的碱性溶液中薄膜表面难以形成稳定的钝化保护层.

关键词：CrSi(Ni、Al)、电阻薄膜、碱性环境、电学稳定性、腐蚀行为、劣化机理

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分类号：TM241.1;TG172.6(电工材料)

资助基金：国家自然科学基金50131030;昆明理工大学校科研和教改项目2006-28

在线出版日期：2007-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1240-1246