YG13硼化处理后沉积气压对金刚石薄膜的影响

摘要：

采用超高真空热丝化学气相沉积(HFCVD)系统,以甲烷和氢气为反应气体,在YG13(WC-13%Co)硬质合金基体上沉积金刚石薄膜.用场发射扫描电子显微镜(FESEM)和X射线衍射仪(XRD)对金刚石薄膜进行检测分析,研究YG13经950℃、3 h硼化预处理后沉积气压对金刚石薄膜形貌和生长织构的影响;通过压痕法比较硼化与二步法两种预处理方法对金刚石薄膜附着性能的影响.结果表明,基体经硼化预处理后表面形成CoB、CoW2B2、CoW3B3相;当沉积温度为750～800 ℃,碳源浓度为3.3%时,薄膜表面形貌和生长织构随着沉积气压改变有明显的变化;硼化预处理后所得样品在1 500 N载荷下压痕表现出良好的附着性能,较二步法预处理更加有效地改善了膜-基附着性能.

关键词：金刚石薄膜、硬质合金、硼化预处理、附着性能

所属期刊栏目：17

分类号：TG135.5(金属学与热处理)

在线出版日期：2007-07-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：775-782