工艺参数对CVI-TaC沉积速率的影响

摘要：

利用TaCl5-Ar-C3H6-H2反应体系,采用化学气相渗透(CVI)法在炭毡中沉积TaC,并研究了CVI工艺参数如气体流速、滞留时间、沉积温度、沉积压力和H2的加入等对碳化钽在炭毡中沉积速率(用炭毡质量分数的增加来表示)的影响.研究表明:CVI-TaC受表面反应控制的最大气体流速为40 cm/s,最小滞留时间为1.2 s;沉积速率与沉积温度之间的关系不符合Arrhenius方程,沉积速率随沉积温度的升高先增加后减小,在950℃时达到最大值;在1 000℃时,CVI过程受孔隙扩散所控制;沉积速率随沉积压力的升高以及H2的加入而急剧增加.

关键词：TaC、炭毡、化学气相渗透、扩散、沉积速率

所属期刊栏目：16

分类号：O6(化学)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划2006CB600908

在线出版日期：2007-02-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：2047-2053