Cr-Si-Ni电阻薄膜在酸碱溶液环境中的电学稳定性

摘要：

采用磁控溅射方法制备了Cr-Si-Ni电阻薄膜,研究了薄膜在模拟酸性(0.1 mol/L HCl)和碱性(0.1 mo1/L NaOH)溶液环境中的电学稳定性和长期使用可靠性.结果表明:在室温(25℃)时,500℃热处理后的纳米晶结构薄膜在酸性溶液环境中比在碱性溶液环境中具有更优异的电学稳定性和长期使用可靠性.在酸碱两种溶液中浸泡240 h后,薄膜试样的相对电阻变化(△R/R)分别为0.96%和3.31%.电化学实验和AES表面成分分析表明,在酸碱两种溶液中薄膜表面都能够形成致密稳定的SiO2保护层,而且酸性环境形成的钝化膜比碱性环境形成的钝化膜具有更好的腐蚀保护作用.

关键词：电阻薄膜、电学稳定性、相对电阻变化、腐蚀行为

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分类号：TG172.6;TN406(金属学与热处理)

资助基金：中国科学院资助项目50131030;上海市科技发展基金02DJ14042

在线出版日期：2006-03-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：147-152