光子晶体的可控垂直沉积

摘要：

使用等温蒸发工艺开发了光子晶体的可控垂直沉积(CVD)技术,初步探索了光子晶体的结晶机制.使用可控垂直沉积技术将294 nm和345 nm的PMMA微球组生长成光子晶体.试样的扫描电镜研究结果表明,晶体结构微球排列有序度高,完美有序区范围在20μm以上,晶体表面层平整完美,在3μm×5μm的有序区内仅有2个点缺陷.

关键词：PMMA、光子晶体、可控垂直沉积

所属期刊栏目：14

分类号：O7(晶体学)

资助基金：西北工业大学校科研和教改项目2004M016203;中国科学院资助项目2004CG04006

在线出版日期：2005-02-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：268-271