直流电弧等离子体制备氮化物纳米粒子

摘要：

采用直流电弧等离子体设备(自行研制)制备金属氮化物纳米粒子,探讨了直流电弧等离子体条件下(高的热性能、高的化学反应活性、高的冷却速率、可控的气氛)氮化反应机理和金属氮化物纳米粒子的成核、生长机制.研究结果表明:反应温度和过饱和度及反应气体压力是影响成核、生长速率与临界成核半径的主要因素,冷却介质是影响产物粒度的关键因素.调整适当的工艺参数,可制备出平均粒径小于20 nm的AlN和小于80 nm的TiN纳米粒子,粉末粒径分布窄,形貌均匀且无团聚.

关键词：纳米粒子、等离子体、成核机制、生长速率

所属期刊栏目：14

分类号：TB3(工程材料学)

资助基金：国家重点基础研究发展计划（973计划）59925207

在线出版日期：2005-02-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：206-211