10.3321/j.issn:1004-0609.2004.z2.111
溶胶-凝胶法制备PST铁电薄膜
为了制备非致冷红外焦平面阵列,采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备出了PST铁电薄膜材料,研究了PST薄膜的结构及介电、铁电性能.XRD谱分析显示,PST膜呈现纯钙钛矿结构.SEM电镜照片显示,PST膜厚均匀一致,无裂纹、高致密.在室温且频率为1kHz时,PST膜介电常数为570,介电损耗为0.02,其热释电系数最大值为7.4×10-4C·m-2·K-1.
PST薄膜、溶胶-凝胶法、介电性能、铁电性能
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TF8(有色金属冶炼)
国家高技术研究发展计划863计划2002AA325080
2005-07-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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