10.3321/j.issn:1004-0609.2004.z2.060
GaAs二维光子晶体的制作及其研究进展
阐述了采用扫描式电子束显微镜、干蚀刻法、微影技术等现代微加工技术制作有序结构二维光子晶体的方法及其研究进展.
光子晶体、光子禁带、电子束微影、干蚀刻法
14
TF8(有色金属冶炼)
新疆少数民族科技骨干人才科研项目
2005-07-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
260-262
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10.3321/j.issn:1004-0609.2004.z2.060
光子晶体、光子禁带、电子束微影、干蚀刻法
14
TF8(有色金属冶炼)
新疆少数民族科技骨干人才科研项目
2005-07-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
260-262
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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