金属有机物PCVD法沉积Ti(CN)涂层

摘要：

应用PCVD技术,以金属有机物TPT作钛源在H13模具钢表面沉积Ti(CN)涂层,研究了不同工艺参数对涂层组织和性能的影响,并对涂层的抗氧化性进行了实验.结果表明,采用适当的沉积温度、压力及氮气流量,可以在H13钢表面得到以Ti(CN)为主的致密涂层,在沉积温度500℃时达到最高硬度HV1760,涂层在600℃以下具有良好的抗氧化性.

关键词：PCVD、Ti(CN)涂层、抗氧化性

所属期刊栏目：14

分类号：TF8(有色金属冶炼)

资助基金：湖北省教育厅科研项目2002A01008

在线出版日期：2004-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：272-275