Ti6Al4V合金等离子体基离子注氧层XPS研究

摘要：

采用等离子体基离子注氧技术(O2-PBⅡ)对Ti6Al4V合金进行了表面改性处理,实验过程中改变注入离子能量的工艺参数,负脉冲偏压分别为10、20、30 kV,离子注入过程中样品台通油冷却以实现低温注入;用XPS对离子注氧层的深度、成分及化学结构进行了系统的分析.结果表明:随着注入离子能量的增加,Ti6Al4V合金表面改性层的深度明显增加,改性层的外层由一定厚度的TiO2组成,外层与内层基体之间存在Ti2O3和TiO;Al元素在改性层的外层以氧化物形式存在,且该氧化物趋于表面生长;在表面改性层的外层未发现V及其氧化物.

关键词：等离子体基离子注入、XPS分析、化学态

所属期刊栏目：14

分类号：TG146.2;TG178;R318(金属学与热处理)

在线出版日期：2004-12-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1615-1620