2-氨基-5-巯基-1,3,4-噻二唑缓蚀剂结构的密度泛函计算

摘要：

采用密度泛函量子化学计算方法,获得了在B3LYP/6-311++G(2d)(5D,7F)理论水平上2-氨基-5-巯基-1,3,4-噻二唑(简称AMT)4种互变异构体的平衡几何构型、能量和电荷分布,证实了4种互变异构体的所有原子处于同一平面,且有一种异构体最稳定.研究结果表明:AMT4种异构体中的环骨架具有芳香性,AMTc与Cu形成的缓蚀膜层是Cu(Ⅰ)与AMTc中的7N和2S原子分别形成共价键和配位键相互交错而成.计算了AMT4种异构体的谐振频率和红外光谱强度.

关键词：CMP抛光液、AMT、缓蚀剂、密度泛函计算、从头计算

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分类号：O641.12+1;TN305.2(物理化学（理论化学）、化学物理学)

资助基金：教育部高校骨干教师资助计划2000年6月

在线出版日期：2004-06-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：291-297