离子渗金属中等离子体参数与工艺参数的相关性

摘要：

用朗缪尔单探针技术对离子渗金属中的等离子体参数进行了诊断,讨论工艺参数对等离子体参数的影响.结果表明,随着工件阴极电压、源极电压和气压的增加,等离子体密度增大.利用等离子体参数结合放电特征对工艺参数进行了优化限定.讨论了等离子体参数对渗层成分的影响.

关键词：等离子体参数、工艺参数、表面成分

所属期刊栏目：13

分类号：TG156.8(金属学与热处理)

资助基金：山西省自然科学基金991053

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：311-314