Cu基体上抗原子氧侵蚀的Al2O3涂层

摘要：

在原子氧地面模拟设备中对铜片、Al2O3涂层试样进行了原子氧暴露实验, 采用XPS、SEM等分析手段对暴露前后试样表面的物理和化学变化进行了研究.结果表明: Cu受到原子氧的侵蚀, 质量有少许增加, 表面形貌和电学性能有些变化;Al2O3涂层质量变化很小, 对基体提供了良好的保护作用.XPS分析结果表明Cu表面形成CuO氧化物层.反应溅射的Al2O3涂层是富Al的, 初始暴露时由于氧化反应而质量有少许增加, 随时间延长, 涂层变得完全符合化学计量.

关键词：原子氧、低地轨道、铜、防护涂层

所属期刊栏目：13

分类号：TG146.1(金属学与热处理)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划G19990650

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：172-176